應用於真空（kōng）係統的橡膠主要有兩大類：硫化橡膠和合成橡膠（jiāo）（包括丁基、氯基、丁晴橡膠），此外還有矽酮橡膠和氟橡膠。除了正確的密封結構設計，合理選擇密封材料也是實現真空橡膠密封的（de）關鍵。幾個主（zhǔ）要因素會影響真空密封，包括橡膠的（de）耐熱性、耐壓縮變形性、漏氣率、氣透性、出氣率以及（jí）升華（huá）（失重（chóng））。

耐熱性：在真空係統中，橡膠（jiāo）密封件必須具備一定耐熱性，以確保烘烤去氣的順利進行。烘烤溫度在120℃以下和10^-5Pa的真空度下（xià），可采用丁基或丁晴（qíng）橡膠；若要求烘烤溫度更高且在超高真空環（huán）境中（zhōng）工作，則需采（cǎi）用氟橡膠。

耐（nài）壓縮變形性：在（zài）真空係統中，大多數真空密封件都在壓縮狀態下工（gōng）作。為了確保密封件的可靠性和壽命，橡膠密封件應具有較（jiào）小的壓縮變形值（最好小於35%），並具有緩慢的壓縮應力鬆弛（chí）程度（即壓縮（suō）應力鬆弛係數較大）。

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